SJT 31083-1994 DM-450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
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ID： |
856AE84D00AA4F12A4DACD7421E496D5 |
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文件大小(MB)： |
0.19 |
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页数： |
2 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,DM 450A型真空镀膜设备完好要求和,sj/t 31083- 94,检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 DM—450A型真空镀膜机的完好要求和检查、评定方法,本标准适用于DM—450A型、DM—300B型、GDM—3OOB型、ZD—306型真空镀膜机,2完好要求,2.1 主要技术指标,DM-45OA型真空镀膜设备的主要技术指标有:,a.极限真空度:<6. 7Xl-4pa；,b.抽气时间：当极限真空度达到1. 3X10Tpa?时,应小于40min；,c.エ件旋转速度:0.26r/min,可调;,d.烘烤温度:室温至200C,可调;,e.离子轰击功率:0.6kW最大轰击电压（直流）300QV,2.2 操作系统,2.2.1 各操作变速手柄、开关、按扭启动灵活、定位可靠,标志齐全j,2.2.2 制动、限位装置齐全,灵敏可靠,2.2.3 各仪表指示灯、指示正常,2.3 传动系统,2. 3.1エ件夹旋转平稳、均速,无冲击,无振动,2.3 -2钟罩能够升降自如,且钟罩落下时,位置准确,密封可靠,2.4 真空系统,2.4.1 真空腔密封,无漏气,2. 4. 2冷却水路通畅（冷却系统具体按SJ/T 31082-94执行）,2.4.3扩散泵工作运行正常。机械泵工作正常,无异常噪声。具体要求参照SJ/T 31412—,94W型真空泵完好要求执行,2.5 电路控制系统,2 . 5.1控制装置各部分功能齐全,性能可靠,精度准确,2 .5.2内部清洁,各线路标志明显,2.6 附件,附件齐全,保管良好,无锈蚀、损伤,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准,—— 1 ——,1994-06-01 实施,SJ/T 31083-94,2.y安全防护系统,2.7.1 设备接地可靠,标志明显,2.7.2 各安全阀门、联锁装置工作正常,开关准确,2.8维护保养,2. 8-1设备内外清洁无锈蚀,观察窗明亮,清淅,无破损无腐蚀,2.8.2 各部件紧固螺钉紧密,无松动,高压电源线和高压引线的连接处无松动,2.8.3 定期检查更换易损部件,换泵油,2.8.4 其它按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》中第三章执行,3检查、评定方法,3.1 检査方法,3.1.1 极限真空度的检查方法:,按设备操作要求对真空室抽真空,40.60mm后,用复合真空计测试,每隔5.10mm记录,真空计示值,共记录10-15次,取最后三次记录结果的平均值为极限真空度,3.1.2 抽气时间的检查方法:,按设备操作要求对真空室抽真空,10.20min后,用复合真空计测试,记录从机械泵开始,对钟罩抽真空起,第一次达到1.3X10Tpa的时间,即为抽气时间,3.1.3 工作旋转的检查方法:,在转速可调范围内,选取标称转速为测试点,用旋速仪测试并记录电机轴的转速,并通过,传动比,换算出工作夹的转速,3.1.4 烘烤温度误差的检査方法：,将温度传感器放在原传感器位置附近,选择标称温度点为测试点,当指示温度达到标称温,度,并稳定30min后记录测试数据,每5min记录一次,记录4.6次,分析修正后的测试结果,其中与标称温度相差最大的正负偏差即为温度误差,3.1.5 对各系统完好要求所列内容,在设备现场,采用主观法检查,3.2 评定方法,3. 2.1 完好要求所列内容中,2.1 各项和 2. 4.1~2. 4. 3.2. 5. 1~2. 5. 2,2. 7.1-2. 7. 2 为主,要项目,其余为次要项目,3.2.2 主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2.3 完好设备的维护保养,要求应达到优等设备标准,附加说明：,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由电子工业部第13所组织起草,本标准主要起草人:牛爱欣,'-2……
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